表面科学
Online ISSN : 1881-4743
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特集:顕微計測の最前線
高分解能・高感度X線タイコグラフィー
高橋 幸生
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2013 年 34 巻 11 号 p. 574-579

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抄録

X-ray ptychography, which is one of the coherent X-ray diffractive imaging techniques, allows us to observe extended objects with a high-spatial resolution and a wide field of view. We have developed high-resolution and high-sensitivity X-ray ptychography using the high-intensity X-ray beam focused by total reflection mirrors at SPring-8. In addition, we have applied it to the elemental mapping of metallic nanoparticles and the imaging of the dislocation strain fields of a silicon film. This method will be available to observe various materials and biological specimen.

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