マルチプルレゾリューション / Multiple Resolution

■ DOI : 10.18910/73566

	登録機関名 / Registration Institution Name	最終更新日 / Last Update
1	機関リポジトリ／Institutional Repository	2024/08/08
2	国立国会図書館／National Diet Library	2024/09/11

■ タイトル情報 / Title Information

タイトル / Title : Plasma etching mechanisms in the fabrication of high-aspect-ratio microstructures in stacked layers of different materials

言語 / Language : 英語 /English

タイトル / Title : 異種積層膜高アスペクト比微細構造プラズマエッチング機構の解明

言語 / Language : 日本語 /Japanese

■ 筆頭著者名情報 / First Author Information

著者名(姓) / Surname : 岩瀬

著者名(名) / Given Name : 拓

言語 / Language : 日本語 /Japanese